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KS-S150
星型全自動涂膠顯影機

KS-S150星型全自動涂膠顯影機用于LED-PSS工藝的涂膠顯影制程及先進封裝的涂膠顯影等制程。可兼容藍寶石、砷化鎵和碳化硅等材質的晶圓,產品涉及多個應用領域,涂膠機產能大于190片/小時。設備通過了CSA認證。
產品優勢:
  • 1.占地小、穩定性高、操作與維護方便

    2.產能高,涂膠機產能大于190片/小時

    3.光刻膠用量小,4寸用量0.6ml

    4.優異的流場設計,涂膠均勻性好

應用領域:

●傳感器芯片制造

●光通信芯片制造

●功率芯片制造

●LED芯片制造

●圖形化襯底制造