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KS-S300
12寸星型涂膠顯影機

KS-S300涂膠顯影機可用于高端封裝、MEMS、OLED等領域的涂膠顯影制程,每小時可加工100片晶片,同時產品可兼容不同材質的晶片如硅、玻璃片、鍵合片、化合物等。產品可應用于邏輯類、存儲類芯片、攝像頭芯片、功率器件芯片、OLED制造等領域。曾獲得遼寧省優秀新產品二等獎,遼寧省科學技術獎二等獎。產品通過SEMI S2認證。
產品優勢:
  • 1.適合超薄晶圓處理,超厚膠涂敷、顯影、烘焙工藝

    2.涂膠單元特殊設計,避免高黏度膠離心涂敷時產生的“棉花糖”現象

    3.機臺為全封閉模塊化結構,工藝單元靈活選配

    4.占地面積小,產能高

    5.工藝上可實現5mm以下晶圓翹曲片的傳送加工,熱板采用漸進式烘焙

  • 6.可滿足工廠自動化需求,無人值守

應用領域:

●高端封裝

●MEMS

●OLED