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KS-S300-SP
12寸噴霧式涂膠機

KS-S300全自動噴霧式涂膠機通過超聲波將光阻霧化為微小顆粒,適用于在大深寬比的圖形表面以高分辨率均勻地涂敷光刻膠,可以有效覆蓋溝槽的側壁和邊緣,避免溝槽堆積,節省光刻膠;同時針對輕薄易碎的襯底,承片臺靜態噴霧式涂膠可以避免襯底在高速旋轉時碎裂的風險。產品可應用于高端封裝、微機電系統制造等領域。該產品已通過SEMI S2認證。
產品優勢:
  • 1. 旋流式錐形霧化可均勻覆蓋高深寬比臺階的邊緣和底部

    2. 旋轉加熱式承片臺有效節省光刻膠

    3. 承片臺靜態噴涂規避輕薄襯底碎片風險

    4. 噴嘴具備內外自動清洗功能

應用領域:

●高端封裝?

●OLED領域

●MEMS