新聞中心
全球采購
聯系我們
TOP

KS-C300
12寸集束型涂膠顯影機

KS-C300涂膠顯影機可用于高端封裝、 MEMS、OLED等領域的涂覆顯影制程,每小時可加工180片晶片,同時產品可兼容不同材質的晶片如硅、玻璃片、鍵合片、化合物等。產品可應用于邏輯類、存儲類芯片、攝像頭芯片、功率器件芯片、OLED制造等領域。高端國產化集成電路設備的成功應用為客戶節約了大量成本。產品通過SEMI S2認證。
產品優勢:
  • 1.適合超薄晶圓處理,超厚膠涂敷、顯影、烘焙工藝

    2.涂膠單元特殊設計,避免高黏度膠離心涂敷時產生的“棉花糖”現象

    3.機臺為全封閉模塊化結構,工藝單元靈活選配

    4.占地面積小,產能高

    5.工藝上可實現5mm以下晶圓翹曲片的傳送加工,熱板采用漸進式烘焙

  • 6.可滿足工廠自動化需求,無人值守

應用領域:

●高端封裝

●OLED 領域

●MEMS