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KS-S150-4ST
星型去膠機

適用于半導體及LED芯片制造領域中的光刻膠去除、金屬剝離等工藝制程。
產品優勢:
  • 1. 可兼容處理4英寸及6英寸晶圓且配置靈活

  • 2. 支持兩種去膠液擺臂,變速掃描功能

    3. 采用“干進干出”的晶圓加工模式

    4. 化學液循環再利用、金屬回收、多種藥液分類排放



應用領域:

? ? ? ? ? ?●LED芯片制造

? ? ? ? ? ?●圖形化襯底制造